µ-FLOW质量流量计/控制器是专门为小流量范围所设计的。该款仪表基于直通型热式原理，可与控制阀相连接，形成闭环控制回路。

最小流量范围：5 … 100 mg/h
最大流量范围：0.1 … 2 g/h (流体的热力学性质与H2O相似)

液体流量计

µ-FLOW系列液体质量流量计为不锈钢管构件结构，无可动部件或障碍物。围绕管道布置加热器/传感器组件，并施加恒定功率以加热管道内部液体。流体温差(ΔT) 变化与质量流量成比例。基于所应用传感器，流体最高可加到 5°C，因而µ-FLOW系列适用于低沸点流体。

液体流量控制器

流量计通过集成控制阀实现流量控制。该控制阀具有排空连接，可在启动过程中消除空气或气体。流量计集成电子控制功能。

特点

• 无移动部件
• 直通式测量方式
• 不受安装方位的影响
• 快速而准确的测量
• 与控制阀的组合：连续而且稳定的控制
• 模拟或者数字通讯: RS232, PROFIBUS DP, DeviceNet™, EtherCAT, Modbus 或者 FLOW-BUS
• 不锈钢传感器
• 新特征：1000 bar( 15000 psi) 应用在100 到 450 mg/h FS ( 以水为基础测量介质）

应用

• 制药业
• 食品工业 (香料、添加剂)
• 生物技术产业
• 分析实验室
• 蒸发过程处理 (请见 CEM-system)
• HPLC 应用