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MFC300-03A 气体质量流量控制器
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MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
实验仪器 中试车间商业化生产车间研发实验室
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品牌 爱拓利AITOLY
地区 中国,江苏省,苏州市
货号 MFC300-03A
产地 国产
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爱拓利
苏州爱拓利电子设备有限公司
苏州市吴江区
营业执照已审核
爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年,位于无锡新吴区清源路20号大学科技园。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS,专业从事气体质量流量测量与控制。爱拓利拥有自己的研发团队,具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件等研发能力,是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业,更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件(高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀)的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控制器被广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器、石化、制气、医疗、食品、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时,爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系,并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产,规范化管理,爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀,爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议,气体种类覆盖面广、控制及测量精度高、响应速度快、性能稳定。 苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀均已实现国产化、自研自制率100%、全制程自主可控,其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、环保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用,爱拓利流量计产品的先进性、重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有影响力的创新型企业。我们专注于拥有自主知识产权、纯国产化的核心零部件的开发,以期打破进口产品的技术垄断,彻底摆脱对进口品牌的依赖,大力提升先进制程和科学仪器中国产化替代水平和应用规模,致力于早日打造出高品质且性能可靠的流体测控产品,为解决我国基础科学及先进制程领域所面临的“卡脖子”困境贡献一份绵薄之力。
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产品规格 图文详情 技术文档
产品规格
品牌名称
爱拓利AITOLY
货号
MFC300-03A
国产/进口
国产
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技术参数

主要参数

  • 介质要求

    洁净干燥无腐蚀性气体

  • 气体种类

    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

  • 量程

    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm

  • 测量和控制范围

    0.2%-100%F.S. (1:500)

  • 准确度

    ±0.5%F.S.

  • 重复精度

    ±0.5%F.S.

  • 线性度

    ±0.2%F.S.

  • 分辨率

    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)

  • 传感器响应时间

    5ms

  • 控制响应时间

    300ms

  • 预热时间

    ≤1s

  • 阀门

    常闭式

  • 泄漏率

    1*10-11Pa.m³/sec He

机械特性

  • 最大工作压力

    1.1 MPa(11bar)

  • 工作压差范围

    0-1 MPa

  • 工作温度范围

    0-65℃(环境和气体)

  • 温度范围

    0 - 98%无凝露

  • 气路接头类型

    快插、快拧、卡套、VCR(可选)

  • 气体接触材质

    氟橡胶、黄铜、300-系列不锈钢、硅

  • 密封材质

    氟橡胶 FKM

  • 防护等级

    IP40

  • 安装方式

    任意方向安装

  • 固定孔

    M4 ↓ 5mm

  • 重量

    0.38kg

电气和通讯

  • 电气连接接口类型

    DB-9 male

  • 模拟信号

    0 - 5 VDC,4-20mA(可定制)

  • 输入输出阻抗

    输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<600Ω

  • 量程

    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm

  • 通信速率

    9600(默认),14400,19200,38400 bps(用户可修改)

  • 电源

    15-40 VDC,100 mA

特征

  • 标况

    20℃,1 atm

  • 气体选择

    可选,具体参考说明书气体系数

  • 软件

    Aitoly分阶流量软件

技术文档
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