已关闭
收藏
技术参数
主要参数
介质要求
洁净干燥无腐蚀性气体
气体种类
Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
量程
0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
测量和控制范围
0.2%-100%F.S. (1:500)
准确度
±0.5%F.S.
重复精度
±0.5%F.S.
线性度
±0.2%F.S.
分辨率
0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)
传感器响应时间
5ms
控制响应时间
300ms
预热时间
≤1s
阀门
常闭式
泄漏率
1*10-11Pa.m³/sec He
机械特性
最大工作压力
1.1 MPa(11bar)
工作压差范围
0-1 MPa
工作温度范围
0-65℃(环境和气体)
温度范围
0 - 98%无凝露
气路接头类型
快插、快拧、卡套、VCR(可选)
气体接触材质
氟橡胶、黄铜、300-系列不锈钢、硅
密封材质
氟橡胶 FKM
防护等级
IP40
安装方式
任意方向安装
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.38kg
电气和通讯
电气连接接口类型
DB-9 male
模拟信号
0 - 5 VDC,4-20mA(可定制)
输入输出阻抗
输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<600Ω
量程
0-2,10,20,30,100,300,500sccm
0-1,2,5,10,20,30slpm
通信速率
9600(默认),14400,19200,38400 bps(用户可修改)
电源
15-40 VDC,100 mA
特征
标况
20℃,1 atm
气体选择
可选,具体参考说明书气体系数
软件
Aitoly分阶流量软件