无数据
Supermag®自主研发的磁悬浮泵,可用于高纯溶液,特殊介质的输送。转子悬浮在液体中工作,无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑,是半导体高端制程工艺升级过程中不可或缺的核心装备。