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Supermag®磁悬浮晶圆转台,为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计,使用先进的磁悬浮轴承与电机集成控制技术,打破了国外多年的技术垄断,且部分参数远超过国外技术水平。转子悬浮在空中旋转,无摩擦、无动密封、不产生颗粒,可应用于氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、ALD、CVD(DPN)、单片晶圆清洗、MOCVD、蚀刻、旋涂等高端芯片的制程工艺中。