已关闭
  • 顶部Banner位
  • 固定模块
设置
BIOCHIN...
企业管理端
BIOCHINA
厂家
Supermag®磁悬浮晶圆转台
收藏
分享
制药装备 中试车间商业化生产车间
价格
咨询请点【立即询价】
品牌 苏磁科技
地区 中国,江苏省,苏州市
货号 SCM300C
产地 国产
选择规格
/
易享客服
苏磁科技
苏州苏磁智能科技有限公司
中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-701
营业执照已审核
苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品,为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌、及磁悬浮高真空解决方案。 苏磁科技磁悬浮产品在半导体领域,满足高端芯片制造的苛刻工艺要求;在生物制药领域,保障了药液在输送和搅拌中免受破坏;在化工领域,完全避免了动密封引起的泄漏风险;在高端能源装备领域,具有明显的节能效果和极高的可靠性。 苏磁科技拥有完备的质量体系,获ISO 9001质量管理体系认证,其产品已获CE、SEMI S2等国际认证,并进入多家百亿级客户供应链。公司始终为客户提供及时有效的售后服务和技术支持。 苏磁科技磁悬浮技术目前已申请专利 116项,含PCT12项,发明专利52项。核心团队成员拥有美国、德国、日本等优秀从业背景,曾成功研发全球唯二的磁悬浮人工心脏。未来,公司将持续聚焦于磁悬浮技术,为客户提供洁净、可靠的产品和解决方案。
进入店铺
产品规格 图文详情 技术文档
产品规格
品牌名称
苏磁科技
货号
SCM300C
国产/进口
国产
规格
/
图文详情

Supermag®磁悬浮晶圆转台,为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计,使用先进的磁悬浮轴承与电机集成控制技术,打破了国外多年的技术垄断,且部分参数远超过国外技术水平。转子悬浮在空中旋转,无摩擦、无动密封、不产生颗粒,可应用于氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、ALD、CVD(DPN)、单片晶圆清洗、MOCVD、蚀刻、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

 

技术文档
没有您想要的资料?去索要
返回顶部